设计一台可靠的真空镀膜设备，其抽真空排气系统是尤为重要的。对于真空装置中抽气泵组的选配，主要包括前级泵的选配、主泵的选择以及粗抽泵的确定，这三方面的核心问题。

一、前级泵：

在进行前级泵的选配时，要注意机械泵的泵速是在常压下测量出来的，而正常使用的泵都是在大气压之下工作的，这样就降低了泵的泵送速度，所以要根据抽速曲线来配置泵。

1、前级泵的配置必须遵守的原则：

（1）以满足主泵进气口能工作的最大压力所需的预抽时间要求为准；

（2）可抽掉主泵产生的气体的最大量；

（3）必须满足主泵工作所要求的预真空条件。

2、不同主泵配置的前级泵不同：

（1）蒸汽流泵前级配置泵。包括扩增泵、油扩散喷射泵、油扩散泵等。 在主泵排气口的最大允许压力下，要求将主泵产生的最大气体量排出。

（2）罗茨泵串联机组。此类前级泵配置方式有两种类别：一个是罗茨泵加罗茨泵加机械泵；另一个是罗茨泵加罗茨泵加水环泵。不同的两种方式都是以罗茨泵为主泵，另一罗茨泵为前级泵的配置方式。

（3）其它常见的前级泵配置有：罗茨泵以油封机械泵为前级泵、罗茨泵前级配置水环泵以及涡轮分子泵的前级配置泵等。

二、主泵：

真空镀膜的泵组选配时，主泵选择是一个关键点。主泵的选择不能只追求单一方面的指数，它必须根据使用条件考虑多项指标。真空镀膜机的主泵选择依据有：

1、通过实际镀膜生产过程所需的工作压力进行主泵的选择：

此要求作为主泵选取的首要要点，由于真空室的工作压力一定要能够保证在主泵最佳抽速的压力范围中间，因此需要掌握主泵最佳抽速的压力范围，而主泵抽速是以工艺生产中放出的气量、所需工作压力、系统漏气量等因素决定。主泵的有效抽速计算涉及到真空室的要求工作压力以及真空室的总气量等因素。想要增大主泵的有效抽速就必须先增大流导，所以设计连接管道得短且粗，且管道直径一般要大于主泵入口直径。

2、空载时，镀膜真空室所需要达到的极限压力：

主泵的类型是根据真空室中需要建立的极限压力来确定的。主泵的极限压力通常比真空室的极限压力高，一般是高了0.5-1之间的数量级。

3、不同工艺的镀膜真空室对油污染要求标准的不同，来选择无油、半无油或有油真空泵来作为主泵。

4、了解泵送的气体的类型、组成、温度、灰尘杂质的气体等情况，需要慎重选择主泵。

5、投资预算与运维经济等预算来选择。

三、粗抽泵

由于各种溅射离子泵、低温泵、低温吸附泵(不包括分子筛泵)等需在某种预真空状态下才可以工作。在这种情况下，真空镀膜设备所需的粗抽泵的抽气速度不仅受真空容器的容积影响，还受预先设定的预抽时间的影响。